之前估算时间z36快到了，黎部长考虑到小罗同志的证件进出站比较方便，就派他去接曲卓。</p>
结果，那货全程耷拉着死人脸，害得某人白紧张了一通……</p>
红专楼从外面看着，是栋两层小楼，实际上里面只有一层。穿过一间很小的风净室，随后一间更小的更衣室里换上防静电鞋，姜秘书带着曲卓进到一条带三面大观察窗的廊道。</p>
廊道里站了十多个人，有黎部长和四机部几位领导，半导体研究所的黄所长和大王先生，还有878的徐厂长和张总工。</p>
剩下的几位也都是熟脸，有清华精密仪器系的、光电所的，还有45所的人。</p>
见曲卓进来，黎部长笑着说道：“嗯~我们的大功臣回来了。”</p>
“嘿~”曲卓憨笑，连鞠躬带行礼的挨个问好，抽空瞄了眼观察窗里面……一台占地大约十五个平方，卧式分体布局的设备。</p>
设备是全包裹设计，但通过有典型特征的操作台，曲卓分辨出应该是一台，不，应该说是一套光刻机。</p>
不用猜，肯定是用icralign100的核心部件装配出来的。</p>
事实上，这台被暂时命名为77-1的投影式光刻机，七月初就试车成功了。</p>
经过半个多月的测试，三微米工艺良品率百分之十七点二，六微米工艺良品率百分之五十七点六，十微米良品率达到惊人的百分之八十七点八。</p>
虽然不足百分之九十的良品率，在后世看来并不算高，但就眼下来说，已经可以跻身国际先进水平了。</p>
“厉害呀~”曲卓听完张总工兴致勃勃的讲解，发出了由衷的感慨。</p>
事实再次证明，起码现阶段，我们的设计能力是绝对没有问题的。</p>
设计组并没有复刻曲卓提供的图纸，而是对icralign100的核心组件稍加修改和调整，重新设计了光刻机的整体结构。从原本的柜式一体设计，变成了现在的卧式分体布局。</p>
从结果上看，加工效率比原本设计要略低一些，功耗也略大了一些。但良品率明显提高，耗材损耗也有所下降。综合性能绝对超越了icralign100。</p>
而且，关键点不在于性能上超越了icralign100多少，而在于有这台设备在手，我们就有了突破封锁的“武器”。</p>
上面的计划是，下个月对外公布这款达到世界一流水平的“自研”光刻机。</p>
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